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廣州潽拓——專業(yè)維修PFEIFFER DUO 3
雙級旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理
旋片式真空泵是油密封的旋轉(zhuǎn)式排量泵。泵系統(tǒng)包括一個殼 體 (1)、一個偏心地
安裝的轉(zhuǎn)子 (2)、在離心力和彈力作用下 徑向移動的葉片 (3) 以及入口和出口
(4)。入口閥（如配置）被設(shè)計(jì)為真空安全閥，該閥在操作過程中始終處于打開狀 態(tài)。
工作室 (5) 位于殼體內(nèi)，并受到定子、轉(zhuǎn)子和葉片的限 制。偏心安裝的轉(zhuǎn)子和葉
片將工作室分為具有可變?nèi)莘e的兩 個獨(dú)立艙。當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時，氣體流入擴(kuò)大的吸入
室直至其被 第二個葉片封住。封閉氣體然后進(jìn)行壓縮，直到出口閥沖破 大氣壓力
而開啟。出口閥是油封的。當(dāng)閥打開時，少量的油進(jìn)入吸入室，不僅能夠?qū)ζ溥M(jìn)行
潤 滑，而且能夠?qū)⑷~片與殼體（定子）密封開來。
旋片式真空泵的工作原理
在氣鎮(zhèn)操作的情況下，一個孔向外側(cè)打開，讓氣體流入前側(cè) 的密封吸入室。因此，
在壓縮抽吸階段，在相對低的壓縮下 達(dá)到打開出口閥所需的壓力。這使得蒸汽開始
冷凝前排出置 換的氣體/蒸汽混合物。在操作過程使用氣鎮(zhèn)達(dá)到的終壓力 高于無
氣鎮(zhèn)操作所達(dá)到的壓力。
工作液、油
泵油，也稱為工作液，在旋片式真空泵中泵油有多個任務(wù)要 執(zhí)行。它潤滑所有移動
部件，填充出口閥下的固定空間以及 縮小入口和出口之間的間隙。它壓縮葉片和工
作室之間的間 隙，此外還通過熱傳遞確保溫度平衡。
多級泵
旋片式真空泵是內(nèi)置的單級和兩極版。二極泵比單級泵實(shí)現(xiàn) 相對更低的極限壓力。
此外，氣鎮(zhèn)對極限壓力的影響較低， 因?yàn)闅怄?zhèn)僅允許在高壓力級使用。
真空安全閥
根據(jù)所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空安全閥。 真空安全閥在有意或意
外停頓的情況下將泵與真空室隔離， 并使用置換氣體對泵系統(tǒng)進(jìn)行排氣，防止油液
上升到真空室 中。在開啟泵后，一旦泵中的壓力已達(dá)到真空室中的近似壓 力，它
稍作延遲就打開。
廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設(shè)備研制、生產(chǎn)、銷售、工程安裝及售后維修服務(wù)于一體的綜合性企業(yè)，由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā)，真空設(shè)備技術(shù)研發(fā)，維修工程師，工程師組成的一支技術(shù)實(shí)力雄厚，充滿活力的高素質(zhì)團(tuán)隊(duì)。
廣州潽拓光電科技——專業(yè)維修保養(yǎng)普發(fā)Hipace 300
HiPace Plus 系列渦輪分子泵是為電子顯微鏡和高duan質(zhì)譜行業(yè)量身定做的產(chǎn)品。
HiPace C 系列渦輪分子泵適合腐蝕性氣體環(huán)境。
渦輪分子泵應(yīng)用Hipace 300
鍍膜：光伏、CD/DVD/PVD
工業(yè)：燈管制造
研發(fā)：納米技術(shù)、生物技術(shù)
分析儀器：電子顯微鏡、檢漏、小型質(zhì)譜、表面分析、殘余氣體分析
半導(dǎo)體：PVD、CVD、Beamline、Inspection
德國普發(fā)渦輪分子泵Pfeiffer HiPace 300 抽速可達(dá)到 260 l/s 渦輪分子泵。分子泵緊湊設(shè)計(jì)保證jia性能。Hipace 300 對所有氣體的高抽速和極高壓縮比使其廣泛應(yīng)用于真空行業(yè)。渦輪分子泵Hipace 300 通過保護(hù)等級IP54、半導(dǎo)體 S2、UL / CSA 認(rèn)證。通過控制器監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)保證分子泵的gao安全性。此款渦輪分子泵任意位置安裝?？蛇x風(fēng)冷或水冷。多種配件可選
潽拓——普發(fā)高真空分子泵控制器報警{精}普發(fā)分子泵
廣州潽拓光電科技有限公司專業(yè)維修德國普發(fā)分子泵、德國普發(fā)真空泵維修、原裝普發(fā)真空泵維修、普發(fā)渦輪分子泵維修的公司，專業(yè)普發(fā)分子泵保養(yǎng)維修，修理，普發(fā)復(fù)合分子泵維修，修理，現(xiàn)在針對廣州各地可以上門收件。
PFEIFFER Hipace系列分子泵使用領(lǐng)域
1.真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）
2.研究設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）
3.分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）
4.半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、反射、濾光鏡鍍膜等）
5.真空鍍膜技術(shù)（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）
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